露光・光システム
光の高エネルギーを応用したマルチライトは、レンズを使用した均一光源として利用でき、回路パターン焼付、ウエハ一括露光など、さまざまな用途に利用されています。UV(365nm、405nm、436nm)3線を主波長とした照射が可能で、超高圧UVランプ(250W、500W)とUV LEDタイプを取り揃えています。また、特殊仕様として超高圧UVランプ1~5kWにも対応します。