露光・光システム
タッチパネル、電子ペーパー、液晶ディスプレイ、有機EL、太陽電池といったフレキシブル基板の回路形成を行うための装置です。ロールtoロールでピッチを送り出し、ドライフィルムやPETフイルム上にパターンを焼き付けます。