露光・光システム
フレネルレンズを搭載した高精度なスクリーン製版用露光装置です。精密製版用として、主にMLCC等の電子部品や太陽電池製造などに利用されています。スクリーン枠にストレスを与えない圧着方式を採用、コンパクト設計により小サイズのスクリーン枠向けの露光装置です。