ヒーター
【オーダーメイド】 任意の寸法、波長、設置条件、特性に合わせて設計できます。
500℃を超える高温域での光コントロールを可能にする高出力なラインヒーターユニットです。ユーザが求める温度、出力、寸法など、特性に合わせたランプ、ミラー形状、冷却方式を選定し、完全オーダメードで応えます。パラボラタイプは、広い面積を均一に照射する加熱ユニットで、薄膜半導体製造など、平面基板のバッチ処理などに適しています。